氣態(tài)分子污染物（AMC）控制技術(shù)
來源 : 世源科技工程有限公司
高效化學過濾器
隨著平板顯示技術(shù)的發(fā)展，低溫多晶硅（LTPS）TFT-LCD和AM-OLED產(chǎn)品逐漸增加，以往在a-Si TFT-LCD生產(chǎn)中不會對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生影響的化學氣體在LTPS-TFT生產(chǎn)中大大降低了產(chǎn)品的成品率?；瘜W過濾器的使用可以去除環(huán)境空氣中80%以上的化學氣體，提高產(chǎn)品的成品率。世源公司為多家生產(chǎn)企業(yè)提供了咨詢、檢測和安裝了化學過濾器。