防微振研究及應(yīng)用
防微振研究及應(yīng)用
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隨著產(chǎn)業(yè)技術(shù)向精密化和微細(xì)化的發(fā)展，其對控制微米級的微小振動(dòng)而采取防微振措施提出了更高的要求。為達(dá)到預(yù)期的防微振目標(biāo)，從廠址的宏觀選擇，場地的測試，總圖布置，工藝設(shè)備布置，Tool的要求和特點(diǎn)，結(jié)構(gòu)方案，支持設(shè)備，基座平臺等方面都應(yīng)進(jìn)行防微振方面的考量。世源公司已實(shí)施了多個(gè)項(xiàng)目的從“結(jié)構(gòu)防微振方案制定”、“設(shè)備防微振機(jī)臺設(shè)計(jì)”到“整個(gè)防微振系統(tǒng)的安裝”的全過程服務(wù)，達(dá)到良好效果，滿足工藝生產(chǎn)良品率的需求。
IC/TFT-LCD廠房防微振設(shè)計(jì)平臺建設(shè)研究及應(yīng)用
完成時(shí)間：2011.06
課題簡介：本項(xiàng)目對以往IC/TFT—LCD項(xiàng)目的結(jié)構(gòu)特行進(jìn)行總結(jié)，分析其剛度、動(dòng)力特性等，并實(shí)地測量相應(yīng)項(xiàng)目的微振技術(shù)參數(shù)，最終提出針對性的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案及精密設(shè)備基座平臺的方案，完善“15240微振技術(shù)規(guī)格書”及其有關(guān)計(jì)算方法。通過研究使高科技廠房的防微振設(shè)計(jì)具有實(shí)用性和系統(tǒng)化。